رقاقة واقية مبطنة بالسيراميك من الألومينا عالية النقاء
في عملية النقش في مصانع أشباه الموصلات، تُنتج عملية النقش البلازمي مواد شديدة التآكل، مما قد يُلوث الرقاقة بسهولة ويؤثر سلبًا على أدائها وإنتاجيتها. ولحل هذه المشكلة، خصصت الشركة مواد عالية النقاء.سيراميك الألوميناالبطانة. صُنعت البطانة من سيراميك الألومينا عالي النقاء بنسبة 99.3%، مما يُقاوم بفعالية التآكل الكيميائي أثناء الحفر بالبلازما بفضل مقاومته الممتازة للتآكل. بعد استخدام هذه البطانة المُخصصة، انخفض معدل تلوث الرقاقة بشكل ملحوظ، وتحسن معدل إنتاج الرقاقة بشكل ملحوظ. لا يقتصر الأمر على تقليل خسائر الإنتاج الناتجة عن التلوث، بل يُعزز أيضًا القدرة التنافسية للمنتجات في السوق، مما يُحقق فوائد اقتصادية كبيرة للشركات. وفي الوقت نفسه، بفضل صلابتها العالية ومقاومتها العالية للتآكل،سيراميك الألومينا، يتم تمديد عمر خدمة البطانة بشكل كبير، مما يقلل من تكاليف صيانة المعدات ووقت التوقف عن العمل، مما يحسن كفاءة الإنتاج بشكل أكبر.
في عمليات الترسيب الفيزيائي للبخار (الترسيب الفيزيائي للبخار) والترسيب الكيميائي للبخار (أمراض القلب والأوعية الدموية)، هناك متطلبات عالية جدًا لتحميل الرقاقة والتحكم في درجة الحرارة. وقد خصص مصنعو معدات أشباه الموصلاتسيراميك ألومنيوممشابك كهروستاتيكية لتلبية هذا الطلب. هذه المشبك الكهروستاتيكية مصنوعة من مواد عالية النقاءسيراميك الألومينابنقاء يزيد عن 99.3%، يتميز بمقاومة ممتازة للحرارة وثبات ممتاز. أثناء عملية الترسيب، يمكن التحكم بدقة في موضع ودرجة حرارة الرقاقة لضمان تجانس وجودة تكوين الغشاء. بفضل مقاومته الكهربائية العالية وأدائه العازل الكهربائي الممتاز، يمنع هذا المنتج بفعالية تلف الرقاقة بالكهرباء الساكنة، ويعزز استقرار وموثوقية العملية.
تتطلب الرقاقات معالجة متكررة أثناء عملية تصنيع أشباه الموصلات، مما يضع متطلبات عالية للغاية على معدات المعالجة. بعد اعتمادسيراميك الألوميناأذرع المناولة، حلت شركة أشباه الموصلات مشكلة التلوث بفعالية أثناء مناولة الرقاقات. ذراع المناولة مصنوع من مواد عالية النقاءسيراميك الألومينايتميز بمقاومة عالية للحرارة والتآكل وصلابة عالية. سطحه أملس ولا يتأثر بسهولة بالجسيمات. في بيئة الفراغ، يمكن لذراع المناولة التعامل مع الرقائق بثبات ودقة، مما يتجنب عيوب المنتج الناتجة عن التلوث. كما أن عمره الافتراضي الطويل يقلل من تكلفة استبدال المعدات للمؤسسات، ويعزز استمرارية واستقرار الإنتاج.