تظهر ألواح السيراميك المصنوعة من الألومينا إمكانات كبيرة في مجال أشباه الموصلات
تواجه شركة تصنيع أشباه الموصلات، ذات الشهرة العالمية، تحدياتٍ جسيمة في عملية الحفر أثناء تصنيع رقائقها عالية الجودة. تحت تأثير البلازما طويل الأمد، غالبًا ما تواجه مواد حجرة الحفر التقليدية مشاكل تآكل، مما يؤدي إلى انخفاض كفاءة الإنتاج وارتفاع معدل عيوب المنتجات. لحل هذه المشكلة الصعبة، وبعد عدد كبير من التجارب والدراسات، قررت الشركة استخدام مواد عالية النقاء.ألواح سيراميك الألوميناكمواد واقية لغرفة النقش والمكونات الداخلية للغرفة.
عالية النقاءألواح سيراميك الألوميناتتميز بنقاء عالٍ للغاية. عادةً، تتجاوز نسبة النقاء المطلوبة 99%، وتُضبط شوائب أكسيد المعادن (مثل أكسيد الماغنيسيوم وCaO وSiO₂، إلخ) بدقة ضمن نطاق 0.05-0.8%. يمنح هذا النقاء العالي ألواح سيراميك الألومينا مقاومة ممتازة للحفر البلازمي. بالمقارنة مع مواد سبائك الألومنيوم المستخدمة في المرحلة المبكرة وحل طلاء طبقة أكسيد الألومنيوم المؤكسد على سبيكة الألومنيوم، فإن الكثافة العالية والنقاءألواح سيراميك الألومينايتجنب بفعالية مشكلة تلوث جزيئات المعدن. وفي الوقت نفسه، يمنع التشقق بسهولة بسبب اختلاف معاملات التمدد الحراري بينه وبين الركيزة، مما يُحسّن بشكل كبير مقاومة غرفة النقش للحفر.