سيراميك الألومينا لأشباه الموصلات
سيراميك الألوميناتُستخدم على نطاق واسع في مختلف مكونات معدات تصنيع أشباه الموصلات. على سبيل المثال، في معدات الترسيب الكيميائي للبخار (أمراض القلب والأوعية الدموية)، تتحمل مكونات غرفة التفاعل المصنوعة من سيراميك الألومينا البيئات القاسية مثل درجات الحرارة العالية والتآكل الكيميائي، مما يضمن استقرار عملية التفاعل واتساقها. أما في معدات الطباعة الحجرية،سيراميك الألوميناتُستخدم في تصنيع المنصات البصرية عالية الدقة ومكونات تحمل الأحمال، وتساعد صلابتها العالية واستقرارها الأبعادي في ضمان دقة وتكرار الطباعة الحجرية.
مع تطور أجهزة أشباه الموصلات نحو التصغير والأداء العالي، تتزايد أيضًا متطلبات مواد التغليف الإلكترونية.سيراميك الألوميناتتميز بموصلية حرارية وعزل كهربائي وخصائص ميكانيكية جيدة، مما يُبدّد الحرارة الناتجة عن الشريحة بفعالية مع حمايتها من التأثيرات البيئية الخارجية. على سبيل المثال، في التغليف الخزفي متعدد الطبقات (ام ال سي سي)،سيراميك الألومينايعمل بمثابة مادة ركيزة، مما يوفر توصيلات كهربائية موثوقة ودعمًا ماديًا للشريحة.
سيراميك الألوميناتتميز بثبات كيميائي ممتاز ومقاومة عالية لدرجات الحرارة العالية، مما يجعلها مادة مثالية لتصنيع مستشعرات أشباه الموصلات. على سبيل المثال، في مستشعرات الغاز،سيراميك الألوميناتُستخدم كحاملات للمكونات الحساسة، التي تعمل بثبات في بيئات قاسية كدرجات الحرارة والرطوبة العالية، وتتميز بحساسية عالية وقدرات كشف انتقائية لغازات محددة. في مستشعرات الضغط، تتميز هذه المكونات بقوة ميكانيكية عالية وثبات.سيراميك الألومينايمكن ضمان أن المستشعر قادر على قياس التغيرات في الضغط بدقة حتى في ظل ظروف الإجهاد طويلة الأمد.
السيراميك الألومينايمكن لمحث حلزوني مستوي مصنوع بتقنية أشباه الموصلات زيادة تردد التوافق الذاتي للمحث. باستخدام طريقة محلل الشبكة أحادي الطرف لاختبار قيمة S، يمكن استخلاص قيمتي المحاثة وQ. أظهرت الأبحاث أن معلمات القطب، مثل عرض القطب، وتباعده، وعدد لفاته، ونصف قطر الملف، لها تأثير كبير على قيمة المحاثة ومعامل الجودة. في نطاق التردد المنخفض، تتوافق نتائج الاختبار مع نتائج المحاكاة، ولكن مع زيادة التردد، يزداد الفرق بسبب التأثير الطفيلي لمسبار الاختبار.